Amtliche Zusammenfassung
Was wird beschafft?
The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2. Beside the fulfilment of the criteria described under 2.…
Bekanntmachungsverlauf
Zeitlicher Ablauf des Vergabeverfahrens
Verfolgen Sie die wichtigsten Phasen und Aktualisierungen dieses Vergabeverfahrens.
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Bekanntmachung vergebener Aufträge Angezeigte Bekanntmachung
· TED 399787-2026
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Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.
Quelle und Verlässlichkeit
TED · 399787-2026. Geprüft am 22.08.2026, 21:05.
Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.