Gegund TED · Bron · Taal: Deutsch

Duitsland · Laboratorium-, optische en precisieapparatuur

Officiële titel · Deutsch

Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher

Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V. · Duitsland

Bekijk aankondigingen onder deze naam
Officiële samenvatting · Deutsch

The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical…

Wat wordt ingekocht?
Termijn Niet vermeld
Geraamde waardeNiet vermeld
Gepubliceerd11 jun. 2026
Officiële aankondiging openen ↗

Officiële samenvatting · Deutsch

Wat wordt ingekocht?

The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2. Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer: - delivery at the place of usage acco

Historie van de aankondiging

Tijdlijn van de aanbestedingsprocedure

Volg de belangrijkste fasen en updates van deze aanbestedingsprocedure.

Er is nog geen andere gerelateerde aankondiging gevonden.

  1. Aankondiging van het resultaat Huidige aankondiging

    · TED 399787-2026

    Officiële aankondiging openen ↗

De gegevens zijn voor een betere leesbaarheid geordend. De officiële aankondiging en aanbestedingsstukken zijn altijd doorslaggevend.

Bron en betrouwbaarheid

TED · 399787-2026. Gecontroleerd op 22 aug. 2026 21:05.

De gegevens zijn voor een betere leesbaarheid geordend. De officiële aankondiging en aanbestedingsstukken zijn altijd doorslaggevend.

Een fout melden per e-mail