Tilldelad TED · Källa · Språk: Deutsch

Tyskland · Laboratorie-, optisk och precisionsutrustning

Officiell titel · Deutsch

Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher

Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V. · Tyskland

Visa annonser under detta namn
Officiell sammanfattning · Deutsch

The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical…

Vad upphandlas?
Tidsfrist Ej angivet
Uppskattat värdeEj angivet
Publicerat11 juni 2026
Öppna officiellt meddelande ↗

Officiell sammanfattning · Deutsch

Vad upphandlas?

The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2. Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer: - delivery at the place of usage acco

Meddelandehistorik

Tidslinje för upphandlingsförfarandet

Följ de viktigaste stegen och uppdateringarna som är kopplade till det här upphandlingsförfarandet.

Inget annat relaterat meddelande har ännu identifierats.

  1. Resultatmeddelande Aktuellt meddelande

    · TED 399787-2026

    Öppna officiellt meddelande ↗

Uppgifterna har strukturerats om för att bli lättare att läsa. Det officiella meddelandet och upphandlingsdokumenten gäller alltid.

Källa och tillförlitlighet

TED · 399787-2026. Kontrollerad 22 aug. 2026 21:05.

Uppgifterna har strukturerats om för att bli lättare att läsa. Det officiella meddelandet och upphandlingsdokumenten gäller alltid.

Rapportera ett fel via e-post