Official summary · Français
What is being procured?
Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement, une paillasse de chimie semiautomatique pour la gravure et le nettoyage de matériaux III-V sur des plaques de silicium, de phosphure d’indium (InP) ou d’arséniure de gallium (GaAs) de diamètres 100, 150, 200 et 300 mm pour la microélectronique. Cette paillasse remplace une paillasse déjà existante dans la salle blanche du LETI. Par conséquent, l’équipement proposé doit respecter les dimensions suivantes : o Longueur = 2500 mm o Profondeur = 1700 mm o Hauteur = 2100 mm Le marché comprend également les options à chiffrage facultatif suivantes* : o Option 1 : Echangeurs de températures et refroidisseurs (§3.2.6) ; o Option 2 : Transformateurs d’alimentation (§4.1.4) ; o Option 3 : Formation maintenance 1er niveau (§
Source and reliability
Source: official TED notice 474151-2026, last checked Aug 21, 2026, 1:05 AM. The original publication remains authoritative.
Data is restructured for easier reading. The official notice and procurement documents always prevail.