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Was wird beschafft?
Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement, une paillasse de chimie semiautomatique pour la gravure et le nettoyage de matériaux III-V sur des plaques de silicium, de phosphure d’indium (InP) ou d’arséniure de gallium (GaAs) de diamètres 100, 150, 200 et 300 mm pour la microélectronique. Cette paillasse remplace une paillasse déjà existante dans la salle blanche du LETI. Par conséquent, l’équipement proposé doit respecter les dimensions suivantes : o Longueur = 2500 mm o Profondeur = 1700 mm o Hauteur = 2100 mm Le marché comprend également les options à chiffrage facultatif suivantes* : o Option 1 : Echangeurs de températures et refroidisseurs (§3.2.6) ; o Option 2 : Transformateurs d’alimentation (§4.1.4) ; o Option 3 : Formation maintenance 1er niveau (§
Quelle und Verlässlichkeit
Quelle: amtliche TED-Bekanntmachung 474151-2026, zuletzt geprüft am 21.08.2026, 01:05. Maßgeblich bleibt die Originalveröffentlichung.
Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.