Officiell sammanfattning · English
Vad upphandlas?
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for oxides and nitrides of silicon to become its new primary instrument for 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q3 2027. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools. It serves a diverse community of over 200 active users, ranging from novice students to experienced researchers, as well a high percentage of commercial clients. As an open access tool, the Instrument must support the full spectrum of etching of silicon-based dielectrics, from sub 100 nm nanostructures defined by electron beam lithography to depths of several tens of microns.…
Vägledande maskinöversättning. Den officiella sammanfattningen gäller.
Officiell sammanfattning · English
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for oxides and nitrides of silicon to become its new primary instrument for 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q3 2027. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools. It serves a diverse community of over 200 active users, ranging from novice students to experienced researchers, as well a high percentage of commercial clients. As an open access tool, the Instrument must support the full spectrum of etching of silicon-based dielectrics, from sub 100 nm nanostructures defined by electron beam lithography to depths of several tens of microns.…
Gratis
Få nästa upphandlingar inom denna bransch
Få ett veckovis mejl med nya meddelanden som matchar dina kriterier. Kontrollera eller justera kriterierna innan du aktiverar din kostnadsfria bevakning.
Förberedelselista
Förbered mitt anbud
Kontroller att göra i de officiella handlingarna. Guiden är ingen automatisk dokumentanalys.
- Läs alla handlingar och ändringar
- Kontrollera deltagarvillkor och begärda dokument
- Kontrollera om platsbesök eller möte krävs
- Granska tilldelningskriterier och viktning
- Kontrollera tillgängliga resurser, budget och tidsplan
- Bekräfta inlämningsförfarandet och tidsfristen
TED · 701524-2026. Kontrollerad 12 okt. 2026 11:05.
https://ted.europa.eu/en/notice/-/detail/701524-2026
Analysera denna annons med AI
AI-analyser är tillgängliga med Pro eller Team.
Analyser av annonser och PDF-filer använder samma kvot.
Meddelandehistorik
Tidslinje för upphandlingsförfarandet
Följ de viktigaste stegen och uppdateringarna som är kopplade till det här upphandlingsförfarandet.
Inget annat relaterat meddelande har ännu identifierats.
Uppgifterna har strukturerats om för att bli lättare att läsa. Det officiella meddelandet och upphandlingsdokumenten gäller alltid.
Källa och tillförlitlighet
TED · 701524-2026. Kontrollerad 12 okt. 2026 11:05.
Uppgifterna har strukturerats om för att bli lättare att läsa. Det officiella meddelandet och upphandlingsdokumenten gäller alltid.