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Finnland · Labor-, optische und Präzisionsgeräte

Amtlicher Titel · English

Defect inspection system

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd · Finnland

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Amtliche Zusammenfassung · English

VTT is looking to acquire an automated defect inspection tool for 200 mm and 300 mm patterned wafers. The tool will enable rapid tracking of defects that appear during the manufacturing process of functional devices (in-line and end-of-line in the Front-end process). The tool must be capable of detecting particles, voids, cracks, scratches, pits, bumps, and hazes in the pattern. The materials of the patterns that the machine must be able to analyze are…

Was wird beschafft?
Frist 28.07.2026 13:00 UTC
Geschätzter WertNicht angegeben
Veröffentlicht16.06.2026
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Amtliche Zusammenfassung · English

Was wird beschafft?

VTT is looking to acquire an automated defect inspection tool for 200 mm and 300 mm patterned wafers. The tool will enable rapid tracking of defects that appear during the manufacturing process of functional devices (in-line and end-of-line in the Front-end process). The tool must be capable of detecting particles, voids, cracks, scratches, pits, bumps, and hazes in the pattern. The materials of the patterns that the machine must be able to analyze are silicon oxides and nitrides, polysilicon, metals, and photoresist. The object of the tender process and the technical requirements are described in more detail in the invitation to tender documents.

Bekanntmachungsverlauf

Zeitlicher Ablauf des Vergabeverfahrens

Verfolgen Sie die wichtigsten Phasen und Aktualisierungen dieses Vergabeverfahrens.

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  1. Auftragsbekanntmachung Aktuelle Bekanntmachung

    · TED 413000-2026

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Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.

Quelle und Verlässlichkeit

TED · 413000-2026. Geprüft am 23.08.2026, 02:05.

Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.

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