Vergeben TED · Quelle · Sprache: Nederlands

Belgien · Labor-, optische und Präzisionsgeräte

Amtlicher Titel · Nederlands

Advanced Lithography EUV Scanner

Imec EU Pilot line NV · Belgien

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Amtliche Zusammenfassung · Nederlands

Was wird beschafft?

De Low NA-scanner is een geavanceerde EUV-scanner die het mogelijk maakt om de EUV-patroonvorming verder te verkennen en uit te breiden, met behulp van experimentele materialen en innovatieve ontwerpen, in logische en geheugenchips. Naast de resolutie biedt de Low NA-scanner verbeterde overlay-prestaties en doorvoercapaciteit, wat van cruciaal belang is voor de voortdurend evoluerende halfgeleidercomponenten.

Frist Nicht angegeben
Geschätzter WertNicht angegeben
Veröffentlicht26.05.2026
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Bekanntmachungsverlauf

Zeitlicher Ablauf des Vergabeverfahrens

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  1. Bekanntmachung vergebener Aufträge Aktuelle Bekanntmachung

    · TED 357867-2026

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Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.

Quelle und Verlässlichkeit

TED · 357867-2026. Geprüft am 22.08.2026, 13:05.

Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.

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