Adjudicado TED · Fonte · Idioma: Nederlands

Bélgica · Equipamento de laboratório, ótico e de precisão

Título oficial · Nederlands

Advanced Lithography EUV Scanner

Imec EU Pilot line NV · Bélgica

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Resumo oficial · Nederlands

O que está a ser adquirido?

De Low NA-scanner is een geavanceerde EUV-scanner die het mogelijk maakt om de EUV-patroonvorming verder te verkennen en uit te breiden, met behulp van experimentele materialen en innovatieve ontwerpen, in logische en geheugenchips. Naast de resolutie biedt de Low NA-scanner verbeterde overlay-prestaties en doorvoercapaciteit, wat van cruciaal belang is voor de voortdurend evoluerende halfgeleidercomponenten.

Prazo Não indicado
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Publicado26 de mai de 2026
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Fonte e fiabilidade

TED · 357867-2026. Verificado em 22 de ago de 2026 13:05.

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