Attribué TED · Source · Langue: Nederlands

Belgique · Équipements de laboratoire, d’optique et de précision

Titre officiel · Nederlands

Advanced Lithography EUV Scanner

Imec EU Pilot line NV · Belgique

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Résumé officiel · Nederlands

Quel est l’objet du marché ?

De Low NA-scanner is een geavanceerde EUV-scanner die het mogelijk maakt om de EUV-patroonvorming verder te verkennen en uit te breiden, met behulp van experimentele materialen en innovatieve ontwerpen, in logische en geheugenchips. Naast de resolutie biedt de Low NA-scanner verbeterde overlay-prestaties en doorvoercapaciteit, wat van cruciaal belang is voor de voortdurend evoluerende halfgeleidercomponenten.

Échéance Non communiqué
Valeur estiméeNon communiqué
Publié26 mai 2026
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    · TED 357867-2026

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Source et fiabilité

TED · 357867-2026. Vérifié le 22 août 2026 à 13:05.

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