Germany · Industrial machinery
Official title · Deutsch
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Official title · Deutsch
FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
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Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik · Germany
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Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.
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Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.
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TED · 631404-2026. Checked on Sep 14, 2026, 11:05 AM.
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