Germany · Laboratory, optical and precision equipment
Official title · Deutsch
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Official title · Deutsch
Dual Beam
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Universität Leipzig · Germany
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Leistungsgenstand ist eine Feinstrahlimplantationsanlage zur deterministischen Implantation einzelner Atomen und Fehlstellen in Festkörpern zur Herstellung von Quantensystemen mit einer lateralen Auflösung von unter 5 nm in allen 3 Dimensionen.
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Leistungsgenstand ist eine Feinstrahlimplantationsanlage zur deterministischen Implantation einzelner Atomen und Fehlstellen in Festkörpern zur Herstellung von Quantensystemen mit einer lateralen Auflösung von unter 5 nm in allen 3 Dimensionen.
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TED · 480514-2026. Checked on Aug 23, 2026, 4:05 PM.
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