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Saksa · Laboratorio-, optiset ja tarkkuuslaitteet

Virallinen otsikko · Deutsch

Chemisch-mechanische Poliermaschine

Friedrich-Schiller-Universität Jena · Saksa

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Virallinen yhteenveto · Deutsch

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit die Anschaffung einer chemisch-mechanischen Poliermaschine (CMP) für das Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen. Sie muss für Probengrößen bis hin zu Wafern (Halbleiterscheiben) mit Durchmessern von bis zu 100 Millimeter geeignet sein, Rauigkeiten kleiner als 1 Nanometer (RMS-Rauigkeit) erreichen können. Daraus ergeben sich…

Mitä hankitaan?
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Julkaistu30.10.2026
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Virallinen yhteenveto · Deutsch

Mitä hankitaan?

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit die Anschaffung einer chemisch-mechanischen Poliermaschine (CMP) für das Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen. Sie muss für Probengrößen bis hin zu Wafern (Halbleiterscheiben) mit Durchmessern von bis zu 100 Millimeter geeignet sein, Rauigkeiten kleiner als 1 Nanometer (RMS-Rauigkeit) erreichen können. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2 Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über einem Gesamtauftragswert von 225.000,00 Euro netto von der Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über dieser Grenze, ist die Vergabestel-le berechtig die Ausschreibung aufzuheben.

Ilmoitushistoria

Hankintamenettelyn aikajana

Seuraa tähän hankintamenettelyyn liittyviä päävaiheita ja päivityksiä.

  1. Hankintailmoitus

    · TED 618476-2026

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  2. Korjausilmoitus

    · TED 718171-2026

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  3. Tulosilmoitus Tarkasteltava ilmoitus

    · TED 752830-2026

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Lähde ja luotettavuus

TED · 752830-2026. Tarkistettu 30.10.2026 klo 11.05.

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