Zamknięte TED · Źródło · Język: Deutsch

Niemcy · Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny

Oficjalny tytuł · Deutsch

Kauf einer DRIE/ RIE-Anlage (Plasmaätzanlage)

Westsächsische Hochschule Zwickau · Niemcy

Zobacz ogłoszenia pod tą nazwą
Oficjalne podsumowanie · Deutsch

Kurze Beschreibung: Anschaffung einer neuen DRIE/ RIE-Anlage (Plasmaätzanlage) - mit Software- und Anlagensteuerung inklusive Installation und Einweisung Bestehend aus: DRIE/ RIE-Anlage, Substratelektrode, Kantenschutz der Wafer während der Ätzung, Notching-Kontrolle/ Reduktion der Strukturabweichung beim Ätzstopp auf Dielektrika, Endpunktdetektion, Software- und Anlagensteuerung, Verpackung / Transport / Abladen / Einbringen / Installation…

Co jest przedmiotem zamówienia?
Termin 10 lip 2026 10:00 UTC+02:00
Szacunkowa wartośćNie podano
Opublikowano5 cze 2026
Otwórz oficjalne ogłoszenie ↗

Oficjalne podsumowanie · Deutsch

Co jest przedmiotem zamówienia?

Kurze Beschreibung: Anschaffung einer neuen DRIE/ RIE-Anlage (Plasmaätzanlage) - mit Software- und Anlagensteuerung inklusive Installation und Einweisung Bestehend aus: DRIE/ RIE-Anlage, Substratelektrode, Kantenschutz der Wafer während der Ätzung, Notching-Kontrolle/ Reduktion der Strukturabweichung beim Ätzstopp auf Dielektrika, Endpunktdetektion, Software- und Anlagensteuerung, Verpackung / Transport / Abladen / Einbringen / Installation einschließlich Inbetriebnahme und Schulung Beschreibung der Beschaffung (Art und Umfang der Dienstleistung bzw. Angabe der Bedürfnisse und Anforderungen) Neue DRIE/ RIE-Anlage inkl.…

Historia ogłoszeń

Oś czasu postępowania o udzielenie zamówienia

Śledź główne etapy i aktualizacje powiązane z tym postępowaniem o udzielenie zamówienia.

Nie znaleziono jeszcze żadnego innego powiązanego ogłoszenia.

  1. Ogłoszenie o procedurze konkurencyjnej Przeglądane ogłoszenie

    · TED 388383-2026

    Otwórz oficjalne ogłoszenie ↗

Dane uporządkowano dla łatwiejszego czytania. Zawsze rozstrzygają oficjalne ogłoszenie i dokumenty zamówienia.

Źródło i wiarygodność

TED · 388383-2026. Sprawdzono 22 sie 2026, 19:05.

Dane uporządkowano dla łatwiejszego czytania. Zawsze rozstrzygają oficjalne ogłoszenie i dokumenty zamówienia.

Zgłoś błąd e-mailem