Lezárt TED · Forrás · Nyelv: Deutsch

Németország · Laboratóriumi, optikai és precíziós berendezések

Hivatalos cím · Deutsch

Kauf einer DRIE/ RIE-Anlage (Plasmaätzanlage)

Westsächsische Hochschule Zwickau · Németország

Az e néven megjelent hirdetmények
Hivatalos összefoglaló · Deutsch

Kurze Beschreibung: Anschaffung einer neuen DRIE/ RIE-Anlage (Plasmaätzanlage) - mit Software- und Anlagensteuerung inklusive Installation und Einweisung Bestehend aus: DRIE/ RIE-Anlage, Substratelektrode, Kantenschutz der Wafer während der Ätzung, Notching-Kontrolle/ Reduktion der Strukturabweichung beim Ätzstopp auf Dielektrika, Endpunktdetektion, Software- und Anlagensteuerung, Verpackung / Transport / Abladen / Einbringen / Installation…

Mi a beszerzés tárgya?
Határidő 2026. júl. 10. 10:00 UTC+02:00
Becsült értékNincs megadva
Közzétéve2026. jún. 5.
Hivatalos hirdetmény megnyitása ↗

Hivatalos összefoglaló · Deutsch

Mi a beszerzés tárgya?

Kurze Beschreibung: Anschaffung einer neuen DRIE/ RIE-Anlage (Plasmaätzanlage) - mit Software- und Anlagensteuerung inklusive Installation und Einweisung Bestehend aus: DRIE/ RIE-Anlage, Substratelektrode, Kantenschutz der Wafer während der Ätzung, Notching-Kontrolle/ Reduktion der Strukturabweichung beim Ätzstopp auf Dielektrika, Endpunktdetektion, Software- und Anlagensteuerung, Verpackung / Transport / Abladen / Einbringen / Installation einschließlich Inbetriebnahme und Schulung Beschreibung der Beschaffung (Art und Umfang der Dienstleistung bzw. Angabe der Bedürfnisse und Anforderungen) Neue DRIE/ RIE-Anlage inkl.…

A hirdetmény előzményei

A közbeszerzési eljárás idővonala

Kövesse a közbeszerzési eljáráshoz kapcsolódó főbb szakaszokat és frissítéseket.

Egyelőre nem azonosítottunk más kapcsolódó hirdetményt.

  1. Versenyfelhívás Megtekintett hirdetmény

    · TED 388383-2026

    Hivatalos hirdetmény megnyitása ↗

Az adatokat a könnyebb olvashatóság érdekében átrendezzük. Mindig a hivatalos hirdetmény és a közbeszerzési dokumentumok az irányadók.

Forrás és megbízhatóság

TED · 388383-2026. Ellenőrizve: 2026. aug. 22. 19:05.

Az adatokat a könnyebb olvashatóság érdekében átrendezzük. Mindig a hivatalos hirdetmény és a közbeszerzési dokumentumok az irányadók.

Hiba bejelentése e-mailben