Plasma-Atomic-Layer-Deposition Anlage für hochreine Metall Schichten insbesondere Titannitrid-Schichten (

Bekanntmachungsverlauf

Zeitlicher Ablauf des Vergabeverfahrens

Verfolgen Sie die wichtigsten Phasen und Aktualisierungen dieses Vergabeverfahrens.

1. Sonstige Aktualisierung

   09.09.2026 · TED 622360-2026

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2. Bekanntmachung vergebener Aufträge Angezeigte Bekanntmachung

   29.09.2026 · TED 668240-2026

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Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.