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Deutschland · Industriemaschinen

Amtlicher Titel · Deutsch

Process Monitoring Tool

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. · Deutschland

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Amtliche Zusammenfassung

Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling…

Was wird beschafft?
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Veröffentlicht26.08.2026
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Amtliche Zusammenfassung

Was wird beschafft?

Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.

Bekanntmachungsverlauf

Zeitlicher Ablauf des Vergabeverfahrens

Verfolgen Sie die wichtigsten Phasen und Aktualisierungen dieses Vergabeverfahrens.

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  1. Bekanntmachung vergebener Aufträge Angezeigte Bekanntmachung

    · TED 587209-2026

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Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.

Quelle und Verlässlichkeit

TED · 587209-2026. Geprüft am 28.08.2026, 10:05.

Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.

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