Offizielle Zusammenfassung · Italiano
Was wird beschafft?
Fornitura di un sistema per la rimozione ionica reattiva assistita da plasma accoppiato induttivamente (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching, ICP-RIE)
Quelle und Verlässlichkeit
Quelle: amtliche TED-Bekanntmachung 530688-2026, zuletzt geprüft am 21.08.2026, 19:08. Maßgeblich bleibt die Originalveröffentlichung.
Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.