Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

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Dans le cadre de ses activités de recherche visant à développer des technologies SOI à épuisement total de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatique. Cet équipement devra principalement traiter des plaquettes de 300 mm (ou de 200 mm à l’aide de supports 200-300 mm). Il est destiné au dépôt de métaux ainsi que de nitrures métalliques pour les mémoires non volatiles et les contacts avancés. Cet équipement devra également inclure une solution de nettoyage afin d’améliorer la qualité de surface avant le dépôt de métaux et de nitrures métalliques. Le marché comprend également l’option à chiffrage obligatoire suivante* : - Option 1 – Formation de maintenance Niveau 1 (Chapitre 9) Le marché comprend également les optio