Hivatalos összefoglaló · Français
Mi a beszerzés tárgya?
Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection d
Tájékoztató gépi fordítás. A hivatalos összefoglaló az irányadó.
Hivatalos összefoglaló · Français
Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection d
Ingyenes
Értesüljön az ágazat következő közbeszerzéseiről
Hetente e-mailben kapja meg a feltételeinek megfelelő új hirdetményeket. Az ingyenes értesítés bekapcsolása előtt ellenőrizze vagy módosítsa a feltételeket.
A hirdetmény előzményei
A közbeszerzési eljárás idővonala
Kövesse a közbeszerzési eljáráshoz kapcsolódó főbb szakaszokat és frissítéseket.
Egyelőre nem azonosítottunk más kapcsolódó hirdetményt.
Az adatokat a könnyebb olvashatóság érdekében átrendezzük. Mindig a hivatalos hirdetmény és a közbeszerzési dokumentumok az irányadók.
Forrás és megbízhatóság
TED · 614409-2026. Ellenőrizve: 2026. szept. 10. 6:05.
Az adatokat a könnyebb olvashatóság érdekében átrendezzük. Mindig a hivatalos hirdetmény és a közbeszerzési dokumentumok az irányadók.