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Suède · Équipements de laboratoire, d’optique et de précision

Titre officiel · English

Electron Beam Lithography (EBL) Tool

Lunds universitet · Suède

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Résumé officiel · English

Lund University, Department of Physics, Lund Nano Lab is acquiring an Electron Beam Lithography Tool. The instrument is intended for high resolution, repeatable patterning, equipped with a large writing field for high throughput patterning, and automated self-calibration routines to support long exposures with minimal errors due to beam drift. Finally, its flexible sample loading system must be configured for a wide range of samples from small pieces…

Quel est l’objet du marché ?
Échéance 5 nov. 2026 23:59 UTC+01:00
Valeur estimée26 000 000 SEK
Publié7 oct. 2026
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Résumé officiel · English

Quel est l’objet du marché ?

Lund University, Department of Physics, Lund Nano Lab is acquiring an Electron Beam Lithography Tool. The instrument is intended for high resolution, repeatable patterning, equipped with a large writing field for high throughput patterning, and automated self-calibration routines to support long exposures with minimal errors due to beam drift. Finally, its flexible sample loading system must be configured for a wide range of samples from small pieces used for basic science, or wafers up to 8" in diameter for pilot production testing. With these properties, the Electron Beam Lithography Tool will become a central part of the Lund Nano Lab fabrication infrastructure and support a range of applications such as quantum devices, high-power electronics, metasurfaces and more.…

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TED · 690718-2026. Vérifié le 7 oct. 2026 à 11:05.
https://ted.europa.eu/en/notice/-/detail/690718-2026

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TED · 690718-2026. Vérifié le 7 oct. 2026 à 11:05.

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