Fourniture d’un équipement de métrologie optique 100/150/200mm

Résumé officiel

Quel est l’objet du marché ?

Dans le cadre de ses activités de recherche et de développement de partenariats, le CEA LETI souhaite acquérir un système d’inspection optique dédié aux plaquettes non structurées, capable d’inspecter des plaquettes de 100 mm, 150 mm et 200 mm (dit « outil pont »), afin de remplacer les anciens systèmes utilisés jusqu’à présent. L’outil sélectionné doit être capable d’inspecter des substrats fins et épais. Ce système sera utilisé pour la qualification des procédés en salle blanche à différentes étapes du processus (tant que les substrats ne sont pas structurés) ; il doit pouvoir traiter des substrats exotiques et être capable d’inspecter et, à la demande de l’utilisateur, de collecter des images des défauts (acquisition d’images au microscope).…